Übersicht

Produkte

Anlagen

Vollautomatisiert

Unsere vollautomatisierte Produktlinie zeichnet sich durch einen hohen Durchsatz aus. Dies ermöglicht es Kunden auf der ganzen Welt, ihre Spezialprodukte wettbewerbsfähig und für die Massenproduktion bereit zu machen.

BATCHSPRAY® Clean Autoload

BATCHSPRAY® Acid Autoload

BATCHSPRAY® Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Clean Autoload

Anlagen

Halbautomatisiert

Unsere halbautomatischen Anlagen zeichnen sich durch hohe Leistung, effiziente Chemikalienrückführung und eine minimale Stellfläche aus, wodurch die Flächeneffizienz optimiert wird.

BATCHSPRAY® Solvent

BATCHSPRAY® Acid

Optionen

Retainer Comb Handling

DIW Spiking

End Point Detection

Siconnex

Produktstandard

Unsere Produkte werden mit vordefinierten Optionen auf Kundenwunsch optimiert. Wir wählen die besten Rohmaterialien und Teile aus und garantieren eine schnellstmögliche Produktion. Das Hauptaugenmerk bei den Produkten liegt darauf, internationale Standards mit unseren hohen Qualitätsansprüchen in Einklang zu bringen.

Zertifikate

U.S. Standard
CE Standard
ISO9001
SECS/GEM & GEM300
SEMI S2/S8
BATCHSPRAY® Technology

DNA unserer Anlagen

Die Kerntechnologie unserer Anlagen, BATCHSPRAY, bietet effiziente Reinigungs-, Ätzungs-, Spülungs- und Tocknungslösungen auf nasschemischer Basis. Die Prozesskammer arbeitet von 25 bis 50 Wafer. Mit bis zu 4 Kammern, die gleichzeitig betrieben werden können, wird ein Durchsatz von 400 Wafern pro Stunde erreicht.