当社の全自動の製品ラインは、高いスループットが特徴となっています。これにより、世界中のお客様が特殊製品の競争力を高め、大量生産の準備を整えることが可能になります。
当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。
当社の規格に準拠している製品は、お客様のご要望に応じて、事前定義されたオプションを使用して最適化されます。当社は最高の原材料と部品を選択し、最速の生産を保証します。主な製品のフォーカスは、国際規格に準拠すると共に、高い品質の要件を満たすことです。
当社のすべての装置で使用されている中核テクノロジーであるBATCHSPRAY®は、多用途のプロセスチャンバー内で効率的な化学ベースの洗浄、エッチング、リンス、乾燥を実現します。25枚のウェーハを収容する1つのキャリア、または50枚のウェーハを収容する2つのキャリアに対応しており、最大4つのチャンバーを同時に実行させることが可能で、1時間あたり400枚のウェーハのスループットを達成します。
