精密なクリーニングとエッチングの未来をBATCHSPRAY®テクノロジーで発見してください。当社の閉鎖型システムは化学プロセスを自動化し、クリーニング、エッチング、すすぎ、および乾燥の効率を確保します。オートロード装置を使用して、最大4つのチャンバーを同時にロードし、最大600枚のウエハーを1時間で処理できます。BATCHSPRAY®でシンプリシティと卓越性を追求してください。
プロセスを向上させるために当社のシステムをご利用ください。空のスロットを避け、両側に保護ウエハーを使用することで一貫性を維持しています。一括でバッチ全体を処理することで高いスループットを実現し、非停止の運転により現在のバッチが処理されている間に次のバッチを準備します。効率的で連続的なパフォーマンスが、成功のためにシンプルに提供されています。
半導体製造において、当社のBATCHSPRAY®テクノロジーを用いてより環境に配慮したアプローチを取り入れてください。私たちは「イエローソリューション」を導入し、リソースを節約し、化学物質の使用を減らすことで、産業をより環境にやさしいものにしています。
