BATCHSPRAY®
Solvent
Solvent
機能全般
最大150 wphのスループット
インテリジェントなウェーハ処理と経験豊富なウェーハ処理が融合します。
半自動
バッチがチャンバーに移送されると、プロセスフローはいくつかのプロセスステップを通じて自動化されます。
設置面積2 m²
プロセスモジュールの設置面積が小さく、スマートなウェーハ処理と組み合わせられます。
SiC/GaNでプロセス実行可能
SiCおよびGaNの基板とそのプロセス向けに準備されています。
タンクシステムによる化学物質の再循環
化学物質を再循環させることで、安定した温度と濃度の状態が得られます。
25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能
抽出可能なプロセスチャンバー
ATEX安全規格
ウェーハサイズ
ウエハ材料
実現可能な用途
洗浄
レジスト剝離
適切な機能
DIWスパイキング
よくある質問
タンクサイズは20リットルです。
乾燥プロセスでは、ウェーハを非常に高速で回転させながら、高温の窒素をチャンバー内に注入します。
化学物質の加熱にはインラインヒーターを使用します。
10インチのフィルターが使用可能です。
CO2を有効にすることで、DIWの流れにCO2が注入され、金属の腐食が防止されます。