全自動

当社の全自動の製品ラインは、高いスループットが特徴となっています。これにより、世界中のお客様が特殊製品の競争力を高め、大量生産の準備を整えることが可能になります。

BATCHSPRAY® Clean Autoload

BATCHSPRAY® Acid Autoload

BATCHSPRAY® Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Solvent Autoload

BATCHSPRAY® Acid/Clean Autoload

半自動

当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。

BATCHSPRAY® Solvent

BATCHSPRAY® Acid

Siconnex

製品規格

当社の製品は、お客様のご要望に応じて、事前定義されたオプションを使用して最適化されます。当社は最高の原材料と部品を選択し、最速の生産を保証します。主な製品のフォーカスは、国際規格に準拠すると共に、当社の高い品質の要件を満たすことです。

規格保証

米国規格
CE規格
ISO9001
SECS/GEMおよびGEM300
SEMI S2/S8
BATCHSPRAY®テクノロジー

当社の装置のDNA

当社のすべての装置で使用されている当社の中核テクノロジーであるBATCHSPRAY®は、多用途のプロセスチャンバー内で効率的な化学ベースの洗浄、エッチング、リンス、乾燥を実現します。25枚のウェーハを収容する1つのキャリア、または50枚のウェーハを収容する2つのキャリアに対応しており、最大4つのチャンバーを同時に実行させることが可能で、1時間あたり400枚のウェーハのスループットを達成します。

よくある質問

稼働率は97%を超えています。

SSD HD(Raid)およびWindows 10を搭載しているBeckhoff IPCを使用しています。

はい、当社の装置には業界標準の電気部品が使用されています。

独自の部品は使用せず、OEM部品のみを使用します。

BrooksおよびSynphoniaのロードポートを使用しています。

当社のオートロードシステムはISO 2~3のクリーンルームクラスを取得しています。

ザルツブルクの本社にはデモ用のラボがあります。

あらゆる種類のエッチングとレジスト剝離は、オーストリアのザルツブルクにある当社のデモ用のラボで実行できます。

光学顕微鏡、デジタルマイクロスコープ、膜厚測定を備えております。

すべての装置の組み立てと最終テストはオーストリアの本社で行われます。

一般的な設置にはモジュールごとに3週間かかり、その後に共同プロセスが立ち上げられます。

お気軽にご相談ください。