用途

レジスト剝離

当社のレジスト剝離プロセスの実証済みの利点には、化学物質とプロセス媒体の削減、製品品質の向上、欠陥ゼロの生産目標の達成、操作安全性の改善が含まれています。当社のレジスト剝離装置、ならびにBATCHSPRAY®システムを使用したプロセスの可能性について詳しくご覧ください。

BATCHSPRAY®レジストストリッピングシステムで可能なプロセス

► 注入されたフォトレジストストリップ
► ポジ型とネガ型
► レジストリワーク
► レジストストリップ
► SicOzone Strip
レジスト剝離

PRス剥離

最後に、フォトレジストはSicOzoneプロセスまたは溶剤ベースの媒体によって剥離されます。

レジスト剝離用途向けの装置

Acid Autoload

Solvent Autoload

Clean Autoload

Acid/Solvent Autoload

Acid/Clean Autoload

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