100%ポリマー除去

perc™は、エッチング工程後残渣洗浄のために特別に設計されています。この革新的なアプリケーションは、複数のタイプのポリマーを100%の成功率で効果的に除去します。

perc™を使用すると、簡単かつ柔軟なポリマー除去が可能になります。独自のプロセスの柔軟性により、金属、酸化物、シリコン、VIAのエッチングなどのドライエッチングプロセス後のさまざまなタイプのポリマー残渣の除去に適しています。

perc™機能は、インラインスパイキングテクノロジーに基づいています。非常に少量の酸/アルカリベースのケミカルを加えた脱イオン水がウェーハ表面の洗浄に使用されます。独自のスパイクおよび混合のテクノロジーにより、各ウェーハの正確な濃度と流量が保証されます。

perc™は、脱イオン水と化学媒体の消費量が少ないため、あらゆるユーザーのサステナブルプログラムに適合します。