BATCHSPRAY® Technologie

Entdecken Sie die Zukunft des Reinigens, Ätzens oder der Photolack-Entfernung mit der BATCHSPRAY®-Technologie. Unser geschlossenes System automatisiert chemische Prozesse und gewährleistet Effizienz bei Reinigung, Ätzung, Spülung und Trocknung. Mit der Autoload-Option können Sie gleichzeitig bis zu vier Kammern laden und Durchsätze von bis zu 600 Wafern pro Stunde erzielen.

Optimiere die Prozess-Performance

Retainer Comb Handling System

Optimieren Sie Ihre Prozesse mit unseren Systemen. Das Auffüllen von leeren Slots und die Verwendung von Schutzwafern sorgen für eine gleiche Homogenität für jeden Wafer. Während eine Charge in der Prozesskammer ist, wird bereits die nächste vorbereitet, wodurch ein ununterbrochener Betrieb der Prozesskammern sichergestellt ist.

Nachhaltigkeit

Green goals. Yellow solutions.

In der heutigen Geschäftswelt ist Nachhaltigkeit ein entscheidender Faktor, insbesondere in der High-Tech-Branche der Halbleiterherstellung. Unternehmen suchen aktiv nach Wegen, Ressourcen zu schonen und den Einsatz kostspieliger Chemikalien effizienter zu gestalten. Durch unsere Yellow Technologien leistet Siconnex einen Beitrag zu einer umweltfreundlicheren Zukunft in der Halbleiterindustrie.