Konstante Ätzergebnisse

Das EPD-System dient der präzisen Steuerung des Metallätzprozesses. Eine Lichtquelle beleuchtet den ersten Wafer, und das Spektrometer zeichnet die reflektierte Wellenlänge auf. Während des Ätzens einer Schicht verändert sich diese Wellenlänge. Diese Veränderungen werden analysiert und dienen dazu, den Zeitpunkt des gewünschten Ätzendpunkts zu bestimmen. Das EPD ermöglicht eine vollautomatische Metallätzung, wodurch konstante Ergebnisse von Prozess zu Prozess erzielt werden können, da Einflüsse wie Chemikalienkonzentration oder Temperatur eliminiert werden.