Solvent
Merkmale
Intelligentes Wafer-Handling trifft auf erfahrene Wafer-Verarbeitung.
Sobald die Charge in die Kammer überführt ist, wird der Prozessablauf durch mehrere Prozessschritte automatisiert.
Kleiner Platzbedarf für Prozessmodule kombiniert mit intelligentem Wafer-Handling.
Geeignet für SiC- und GaN-Technologie und deren Verfahren.
Die Rezirkulation der Chemikalie sorgt für stabile Temperatur- und Konzentrationsbedingungen.
Für eine erleichterte Wartung.
Geeignete Wafer-Größen
Geeignete Wafer-Größen
Mögliche Anwendungen
Optionen
Green Goals. Yellow Solutions.
Technologie ist allgegenwertig, sie prägt unser tägliches Leben und macht es komfortabler. Siconnex definiert den Fortschritt neu, indem es Technologie und Nachhaltigkeit zusammenführt und nicht länger als Gegensätze darstellt. Nachhaltige Technologie für den Fortschritt von morgen. Green Goals. Yellow Solutions.
FAQs
Die Tankgröße beträgt 20 Liter.
Für das Trocknen wird heißer Stickstoff in die Kammer eingeblasen, indem die Wafer mit sehr hohen Drehzahlen gedreht werden.
Inline-Heizer werden verwendet, um die Chemikalien zu erhitzen.
Es können 10-Zoll-Filter verwendet werden.
Durch Aktivierung von CO2 wird diese in den DIW-Fluss eingespritzt, um Korrosion von Metallen zu verhindern.