CleanAutoload
Merkmale
Ausgeklügeltes Wafer-Handling trifft auf erfahrene Wafer-Verarbeitung.
Die Wafercharge wird automatisiert vom Loadport in die Prozesskammer von einem Roboter transportiert.
Clevere Kombination von Prozessmodulen.
Geringe Stellflächen für Prozessmodule kombiniert mit intelligentem Wafer-Handling.
Die Inline-Spiking-Technologie ermöglicht es, winzige Mengen an Säuren in einen DI-Wasserstrom beizumengen.
Ozon ersetzt herkömmliche Medien und bringt deren Anwendungen von PR-Strip und Clean zu seinem Meisterstück.
Optionen für Automatisierung
Um die Effizienz im Wafertransfer zu verbessern, bieten wir Werkszeuge an, die für Dirty-In/Clean-Out-Prozesse entwickelt wurden. Diese Transferwerkzeuge gewährleisten optimale Sauberkeit und verhindern Querkontaminationen, so dass die höchsten Standards für die Wafer eingehalten werden.
Um Ihren individuellen Prozessanforderungen gerecht zu werden, besitzt die Automatisierung separate Werkzeuge für die linke und rechte Prozesskammer. Dieser maßgeschneiderte Ansatz maximiert die Flexibilität des Arbeitsablaufs und ermöglicht eine nahtlose Integration in Ihre bestehende Anlage und steigert Produktivität und Komfort.
Geeignete Wafer-Größen
Halbleitermaterial
Anwendungen
Optionen
Zählbare Vorteile
Dieses Vierkammersystem bietet für den Einsatz von stark verdünnten Chemikalien in Kombination mit dem patentierten Retainer-Comb-Handling-System hervorragende Prozessergebnisse. Bei nachhaltigen Prozessen wie der Reinigung oder Entlackung mit SicOzone anstelle von Peroxid und Schwefelsäure lassen sich Einsparungen von bis zu 90 % beim Verbrauch von Chemikalien und DI-Wasser erzielen.
*Im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren
Green Goals. Yellow Solutions.
Technologie ist in unserem Alltag fest verankert und ermöglicht uns ein privilegiertes und fortschrittliches Leben. Siconnex definiert Fortschritt neu, indem es Technologie und Nachhaltigkeit verschmelzen lässt und sie nicht länger als Gegensätze präsentiert. Nachhaltige Technologie für den Fortschritt von morgen. Green Goals. Yellow Solutions.
FAQs
Die Rückhaltekämme sind für eine Prozesskammer bestimmt und befinden sich im Ruhezustand immer in der Kammer.