Merkmale & Vorteile
perc™ wurde speziell für das Reinigen der Rückstände nach dem Trocken-Ätzverfahren entwickelt. Diese innovative Anwendung entfernt verschiedene Arten von Polymeren mit einer Erfolgsquote von 100 %.
Aufgrund seiner einzigartigen Prozessflexibilität wird es zur Reinigung aller Arten von Polymerrückständen nach Trockenätzprozessen wie Metall-, Oxid-, Silizium- oder VIA-Ätzen eingesetzt.
Das perc™ Verfahren basiert auf der Inline-Spiking-Technologie. Zur Reinigung der Wafer-Oberfläche wird DI-Wasser mit einer geringen Menge an sauren/alkalischen Medien verwendet. Die Einzigartikeit der Spiking- und Mischtechnologie garantiert eine genaue Konzentration und Durchflussmenge für jeden Wafer.
perc™ passt aufgrund seines geringen Verbrauchs an DI-Wasser und chemischen Medien in jedes Nachhaltigkeitsprogramm.
Gemeinsam in eine nachhaltige Zukunft
Die innovative Spiking-Technologie ermöglicht eine minimale Menge an Säuren im DIW-Strom, was zu einer erheblichen Verringerung des Chemieverbrauchs führt. Das perc™-Verfahren entfernt nicht nur Polymere, sondern ermöglicht auch eine präzise Kontrolle des Metallverlustes. Dies bietet eine Reihe von Vorteilen, wie z. B. die garantierte Reinigung von Polymeren, geringere Metallverluste, eine erhebliche Verringerung des Chemikalien- und Wasserverbrauchs, eine effiziente Abfallbehandlung und weitere Vorteile.
Im Vergleich zu konventionellen Reinigungsverfahren
Green Goals. Yellow Solutions.
Technologie ist allgegenwertig, sie prägt unser tägliches Leben und macht es komfortabler. Siconnex definiert den Fortschritt neu, indem es Technologie und Nachhaltigkeit zusammenführt und nicht länger als Gegensätze darstellt. Nachhaltige Technologie für den Fortschritt von morgen. Green Goals. Yellow Solutions.